QF系列八軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)

l??平面式氣浮直線臺(tái)，超性能精度。

l??AC軸正交性≤2arc sec,軸心線重合度≤2μm.

l??Z1軸單軸氣浮結(jié)構(gòu)，Z2龍門(mén)氣浮軸，滿足大負(fù)載的要求。

l??全閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)超精密運(yùn)動(dòng)。

背景介紹

? ? ?? 八軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)應(yīng)用于曲面超精密加工及測(cè)量，近年來(lái)精密加工及測(cè)量產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，機(jī)械線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)在行業(yè)日漸不能滿足，我司研發(fā)的雙工位超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，提升精度的同時(shí)，也提升工作效率。

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

? ? ?? XY軸為平面式龍門(mén)氣浮直線臺(tái)，降低工作點(diǎn)的高度，提升精度性能。

? ? ?? AC軸為氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，百納米跳動(dòng)誤差及特殊設(shè)計(jì)A軸徑向剛度為整個(gè)系統(tǒng)提供了較高的精度性能。

? ? ?? Z軸雙工位應(yīng)用：Z1軸安裝到前面龍門(mén)橋架上，采用低摩擦重力平衡氣缸配重 ，負(fù)載垂直朝下應(yīng)用；Z2軸安裝到后面大理石橋架上，為龍門(mén)氣浮，負(fù)載可水平超前放置，配合XYAC軸實(shí)現(xiàn)超精密加工及測(cè)試應(yīng)用。行程可根據(jù)用戶需求定制。

線纜管理

? ? ?? 精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保無(wú)故障操作。