1、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，多樣品同時(shí)鍍膜時(shí)，鍍膜厚度比較均勻。

2、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時(shí)候腔室里會(huì)有些雜質(zhì)，擋板可以保護(hù)樣品，提高薄膜質(zhì)量

3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時(shí)間濺射鍍膜，厚度可達(dá)1微米以上。

4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個(gè)量級(jí)。針對某些金屬最快能達(dá)到1-2納米每秒，

5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。

6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。

濺射儀使用需注

1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個(gè)條件? 可以鍍? ??

2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色