羅茨水環(huán)泵真空機組

這種機組主泵是羅茨泵，前級泵是水環(huán)泵或油環(huán)泵。主要用于真空壓力浸漬和真空冷凍干燥等設備中。羅茨水環(huán)泵機組常見的故障及消除方法見表1。

表1? 羅茨水環(huán)泵真空機組常見故障及消除方法

羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機組?

這種真空機組主泵為羅茨泵，前級泵采用滑閥泵或旋片泵。

在1×10-3~10Pa范圍內(nèi)有大抽速，結(jié)構緊湊，消耗功率小。真空機組常見故障及消除方法見表2。

表2? 機組常見故障及消除方法

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